國產白光干涉儀

白光干涉儀是3D檢測領域中高精度的精密測量儀器之一↟╃，特別是在一些奈米級和亞奈米級的超精密加工領域✘│。市場中的國外白光干涉儀品牌↟╃，因為價格昂貴↟╃，讓很多企業望而卻步↟╃，品質和售後也是參差不齊✘│。做的好的國產白光干涉儀不多↟╃，中圖儀器自主研發生產的SuperView W1白光干涉儀算一個✘│。

SuperView W1白光干涉儀跟國外的zygo白光干涉儀對標↟╃，品質和售後也有保障↟╃，更大的優勢是軟體方面✘│。基於白光干涉原理↟╃，中圖儀器自主研發生產的SuperViwe W1白光干涉儀採用集合了相移法PSI的高精度和垂直法VSI的大範圍兩大優點的擴充套件型相移演算法EPSI↟╃，單一模式即可適用於從平面到弧面↟│₪✘◕、超光滑到粗糙等各種表面型別↟╃，其*的3D重建演算法↟╃，自動濾除樣品表面噪點↟╃，在硬體系統的配合測量精度可達亞奈米級別↟╃，讓3D測量變得簡單✘│。

產品引數

標準配置

可選配置

產品特點

1↟│₪✘◕、引數測量☁│☁：粗糙度↟│₪✘◕、圍觀輪廓尺寸↟│₪✘◕、角度↟│₪✘◕、面積↟│₪✘◕、體積↟│₪✘◕、一網打盡；

2↟│₪✘◕、環境噪聲檢測☁│☁：實時監測↟╃，奈米波動↟╃，也無可藏匿；

3↟│₪✘◕、雙重防撞保護☁│☁：軟體ZSTOP和Z向硬體感測器↟╃，讓“以卵擊石"也能安然無恙；

4↟│₪✘◕、自動拼接☁│☁：3軸光柵閉環反饋↟╃，讓3D拼接“天衣無縫"；

5↟│₪✘◕、雙重振動隔離☁│☁：氣浮隔振↟╃，吸音隔振↟╃，任你“地動山搖↟╃，我自巋然不動"✘│。

效能特徵

1↟│₪✘◕、高精度↟│₪✘◕、高重複性

3D重建演算法↟│₪✘◕、精密Z向掃描模組和光學干涉技術組成的測量系統↟╃，以及能有效隔離2Hz以上頻率的隔振系統↟╃，保證了測量精度和測量重複性✘│。

2↟│₪✘◕、一體化操作的測量分析軟體

測量資料自動統計↟╃，視覺化視窗↟╃，結合自定義分析模板的自動化測量功能↟╃，實現了快速批次測量的功能↟╃，自動完成多區域的測量與分析過程✘│。

3↟│₪✘◕、精密操縱手柄

整合X↟│₪✘◕、Y↟│₪✘◕、Z三個方向位移調整功能的操縱手柄↟╃，可快速完成Z向聚焦↟│₪✘◕、載物臺平移↟│₪✘◕、找條紋等測量前工作✘│。

4↟│₪✘◕、雙重防撞保護措施

（1）軟體防撞保護ZSTOP

即在Z軸上設定停止位↟╃，設定位置到樣品表面的距離小於鏡頭的工作距離↟╃，當鏡頭運動到該位置時↟╃，就立刻停止不再向下運動↟╃，起到保護樣品和鏡頭的作用✘│。

（2）Z軸硬體防撞感測器

在鏡頭的上方安裝有機械防撞感測器↟╃，當鏡頭向下位移與樣品表面直接接觸時↟╃，觸發感應器↟╃，鏡頭與樣品表面變為軟接觸↟╃，並觸發緊急停止開關↟╃，不再響應向下位移的指令↟╃，避免鏡頭和樣品的損傷↟╃，雙重防護↟╃，守護裝置和產品↟╃，也守護每一分價值和信任✘│。

應用領域

中圖儀器研發生產的SuperView W1國產白光干涉儀讓輪廓測量價格更為實惠↟╃，解析度0.1μm↟╃，重複性0.1%↟╃，應用領域廣泛↟╃，操作簡便↟╃，可自動聚焦測量工件獲取2D↟╃，3D表面粗糙度↟│₪✘◕、輪廓等一百餘項引數✘│。適用於各種產品↟│₪✘◕、部件和材料表面的平面度↟│₪✘◕、粗糙度↟│₪✘◕、孔隙間隙↟│₪✘◕、彎曲變形情況↟│₪✘◕、腐蝕情況↟│₪✘◕、表面缺陷↟│₪✘◕、臺階高度↟│₪✘◕、波紋度↟│₪✘◕、磨損情況↟│₪✘◕、面形輪廓↟│₪✘◕、加工情況等表面形貌特徵進行測量和分析✘│。

深圳市中圖儀器股份有限公司是高新技術企業↟╃，致力於精密測量↟│₪✘◕、計量檢測等儀器裝置的研發↟│₪✘◕、生產和銷售✘│。經過十多年在幾何量測量領域的潛心研究↟╃，設計製造了Super View系列白光干涉儀↟│₪✘◕、GT系列鐳射跟蹤儀↟│₪✘◕、SJ6000系列鐳射干涉儀↟│₪✘◕、SJ5100系列高精度測長機↟│₪✘◕、SJ5700系列輪廓測量儀↟│₪✘◕、SJ5200系列螺紋綜合測量機↟│₪✘◕、SJ2000系列指示表自動檢定儀等眾多測量↟│₪✘◕、計量裝置✘│。從奈米級的微觀形貌檢測到百米級的大尺寸高精度測量↟╃，為使用者提供專業的精密測量解決方案✘│。